Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統
2016-03-24
Chroma 7936晶圓雙面檢測機為自動化的切割后 晶粒檢測機，可以同時間進行正反兩面的晶粒外 觀檢查。使用先進的打光技術，可以清楚的辨識 晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度及 取像模式，使得Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統可以適用于新的制程如垂 直結構晶粒或是覆晶晶粒。
由于使用的高速相機以及自行開發之檢測演算 法，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統可以在4.5分鐘內檢測完2 吋 LED晶圓， 換算為單顆處理時間為35msec。Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統同時也提 供了自動對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄 膜的翹曲與載盤的水平問題。Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統可配置2種不 同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測 倍率。系統搭配的最小解析度為0.7um，一般來 說，可以檢測2um左右的瑕疵尺寸。
系統功能
在擴膜之后，晶粒或晶圓可能會產生不規則的 排列，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統也提供了搜尋及排列功能以轉正晶 圓。此外，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統擁有人性化的使用介面可降低 學習曲線，所有的必要資訊，如晶圓分布、瑕疵 區域、檢測參數及結果等，均可清楚地透過軟體 介面呈現。
瑕疵資料分析
所有的檢測結果均會被記錄下來，而不僅僅是 良品/不良品的結果。這有助于找出一組最佳參 數，達到漏判與誤判的平衡點。瑕疵原始資料亦 有幫助于分析瑕疵產生之趨勢，并回饋給制程人 員進行改善。
綜合上述說明，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統是晶圓檢測制程考 量成本與效能的最佳選擇。長沙艾克賽普儀器設備有限公司作為臺灣Chroma公司湖南區域的總代理，以下為長沙艾克賽普儀器設備有限公司為您簡單介紹Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統的技術參數及產品特點，如果您想對Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統有更多的了解，歡迎致電長沙艾克賽普儀器設備有限公司，聯系電話：0731-84284278 84284378。更多產品信息歡迎點擊：www.sh-zhiyue.com。長沙艾克賽普儀器設備有限公司。
Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測系統主要特色：
可同時檢測晶圓正反兩面
最大可檢測 8 吋晶圓 (檢測區域達10 吋范圍 )
可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目
上片后晶圓自動對位機制
自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格
瑕疵檢出率高達 98%
可結合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設備
提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析
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